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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种测试结构、失效定位方法以及失效分析方法，测试结构包括：两个梳状结构；梳状结构包括梳背子结构和多个梳齿子结构，梳齿子结构沿第一方向延伸，且多个梳齿子结构沿第二方向间隔排布，多个梳齿子结构的一端依次与梳背子结构连接；两个梳状结构中的梳齿子结构相互穿插设置；梳齿子结构包括有源区，两个梳状结构中的有源区分别注入不同离子，以使位于不同的有源区中正常状态下的CT在电压衬度图像中具有亮暗差异。如此配置，通过在两个梳状结构的有源区中注入不同离子，使得分别位于两个有源区中正常状态下的CT在电压衬度图像中具有亮暗差异，能够快速定位失效点，减少了失效定位的工作量，提升了失效定位的效率。
主权项：1.一种测试结构，其特征在于，包括：两个梳状结构；所述梳状结构包括梳背子结构和多个梳齿子结构，所述梳齿子结构沿第一方向延伸，且多个所述梳齿子结构沿第二方向间隔排布，多个所述梳齿子结构的一端依次与所述梳背子结构连接；两个所述梳状结构中的所述梳齿子结构相互穿插设置，所述梳齿子结构用于沿所述第一方向依次连接多个CT；所述梳齿子结构包括有源区，两个所述梳状结构中的所述有源区分别注入不同离子，以使位于不同的所述有源区中正常状态下的所述CT在电压衬度图像中具有亮暗差异。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 测试结构、失效定位方法以及失效分析方法
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