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申请/专利权人：淄博文发新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅制备装置，包括炉体，炉体的内部固定安装有烧结室和保温层，所述烧结室的内部安装有电阻丝加热器和坩埚，所述烧结室的右侧面固定安装有第一真空管和第一进气管，所述第一真空管远离烧结室的一端固定连接有真空泵，所述真空泵的右侧面固定连接有排气管，所述第一进气管远离烧结室的一端固定连接有气泵，所述气泵的右侧面固定连接有第二进气管，所述第二进气管远离气泵的一端固定连接有保护气储罐，所述第一真空管和第一进气管之间设有换热器，所述排气管与废气处理装置连接。本实用新型具有结构合理、成本低、烧结质量高、环保的优点。
主权项：1.一种碳化硅制备装置，包括炉体1，其特征在于：所述炉体1的左侧面固定安装有进料口2，所述进料口2的左侧面安装有炉门3，所述炉门3的左侧面安装有把手4，所述炉体1的外侧面固定安装有温度传感器5和真空压力表6，所述炉体1的内部设有有烧结室7和保温层8，所述烧结室7的内部安装有电阻丝加热器9和坩埚10，所述烧结室7的右侧面固定安装有第一真空管11和第一进气管12，所述第一真空管11远离烧结室7的一端固定连接有真空泵13，所述真空泵13的右侧面固定连接有排气管14，所述第一进气管12远离烧结室7的一端固定连接有气泵15，所述气泵15的右侧面固定连接有第二进气管16，所述第二进气管16远离气泵15的一端固定连接有保护气储罐17，所述第一真空管11和第一进气管12之间设有换热器18，所述排气管14与废气处理装置19连接。
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权利要求：
百度查询： 淄博文发新材料科技有限公司 一种碳化硅制备装置
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