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一种基于异向导电材料的内埋芯片制作工艺 

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申请/专利权人:江苏博敏电子有限公司

摘要:本发明公开了一种,具体包括如下工艺流程:贴铜箔→钻工具孔→贴芯片→叠板压合→激光钻孔→填孔电镀→分板→线路→阻焊→表面处理;其中,贴芯片:使用芯片自动贴片机,将黏附有“异向导电材料”的芯片准确贴合在铜箔的目标位置处,芯片的IO盘面向下,朝向铜箔,同时,异向导电材料在压力下实现IO盘与铜箔电性导通;本发明通过片状的“异向导电材料”作为内埋芯片与外层线路的互连导通层的结构方式,没有了传统工艺中导通孔加工过程中的对位精度问题,仅要求外层线路与内埋芯片IO盘间的对位,从而减少了互连错位风险的导入因素,大大改善了芯片内埋电路板的导通对位问题。

主权项:1.一种基于异向导电材料的内埋芯片制作工艺,具体包括如下工艺流程:贴铜箔→钻工具孔→贴芯片→叠板压合→激光钻孔→填孔电镀→分板→线路→阻焊→表面处理;其特征在于,其中,贴芯片:使用芯片自动贴片机,将黏附有“异向导电材料”的芯片准确贴合在铜箔的目标位置处,芯片的IO盘面向下,朝向铜箔,同时,异向导电材料在压力下实现IO盘与铜箔电性导通。

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权利要求:

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