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申请/专利权人:中北大学
摘要:本发明涉及集成硅基Y波导,具体是一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导。本发明解决了现有集成硅基Y波导带宽小、损耗高、加工误差敏感度高的问题。一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导,包括呈横向设置的主直波导段;主直波导段的右端延伸设置有左窄右宽的锥形波导段;锥形波导段的右端延伸设置有两个过渡直波导段,且两个过渡直波导段呈前后对称分布;两个过渡直波导段之间形成有耦合狭缝;两个过渡直波导段的右端各延伸设置有一个圆弧波导段,且两个圆弧波导段呈前后对称分布;耦合狭缝内填充有亚波长光栅,且亚波长光栅的各个栅条均呈纵向设置。本发明适用于光通信、光传感领域。
主权项:1.一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导,其特征在于:包括呈横向设置的主直波导段(1);主直波导段(1)的右端延伸设置有左窄右宽的锥形波导段(2);锥形波导段(2)的右端延伸设置有两个过渡直波导段(3),且两个过渡直波导段(3)呈前后对称分布;两个过渡直波导段(3)之间形成有耦合狭缝;两个过渡直波导段(3)的右端各延伸设置有一个圆弧波导段(4),且两个圆弧波导段(4)呈前后对称分布;耦合狭缝内填充有亚波长光栅,且亚波长光栅的各个栅条(5)均呈纵向设置;主直波导段(1)的厚度、锥形波导段(2)的厚度、两个过渡直波导段(3)的厚度、两个圆弧波导段(4)的厚度、亚波长光栅的厚度均一致;主直波导段(1)的宽度、锥形波导段(2)的左端宽度、两个过渡直波导段(3)的宽度、两个圆弧波导段(4)的宽度均一致;锥形波导段(2)的右端宽度等于两个过渡直波导段(3)的宽度与耦合狭缝的宽度之和。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中北大学 一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导
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