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申请/专利权人：传周半导体科技(上海)有限公司
摘要：本发明提供的是一种高精度光栅尺码道信号相位互纠算法和读数头系统，其特征是：高精度光栅尺读数头系统由准直光源1、标尺光栅2、指示光栅3、光电二极管阵列4、码道信号相位互纠算法5组成；通过码道信号相位互纠算法5，光电二极管阵列4可以根据标尺光栅2的相对位移生成相位信息正确的输出信号。本发明可用于高精度微小位移的测量，可广泛用于精密半导体制造、精密位移测量、精密运动控制、数控机床的闭环反馈控制等领域。
主权项：1.一种高精度光栅尺码道信号相位互纠算法和读数头系统；其特征是：高精度光栅尺读数头系统由准直光源1、标尺光栅2、指示光栅3、光电二极管阵列4、码道信号相位互纠算法5组成，其中：所述系统中的标尺光栅2包含增量码道21和绝对码道22；所述系统中的指示光栅3包含增量码道31和绝对码道32；所述系统中的光电二极管阵列4包含增量码道41和绝对码道41；所述系统中准直光源1会将准直光束照射到标尺光栅2上的增量码道21和绝对码道22，标尺光栅2会将光束反射并形成特殊的光场分布，叠加在指示光栅3上的增量码道31和绝对码道32并进行透射，最终照射在光电二极管阵列4的增量码道41和绝对码道42上；光电二极管阵列4会将照射在其上的光场，随着标尺光栅2的相对位移生成输出信号，其中增量码道41生成增量正弦波信号A，根据所设定的判别阈值L生成增量方波信号A'，绝对码道42生成绝对方波信号M；由光电二极管阵列4所生成的信号A、信号M将会输入至码道信号相位互纠算法5中，码道信号相位互纠算法5会根据信号A和信号M信号的状态实时调节判别阈值L'，并反馈至光电二极管阵列4中，光电二极管阵列4根据更新的判别阈值L'生成占空比、上升下降沿所对应的相位正确的增量方波信号A"。
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权利要求：
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