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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于磷酸锂平面靶技术领域，公开了一种磷酸锂靶材及其制备方法，该磷酸锂靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将磷酸锂粉体装入模具进行预压，压力为5‑10Mpa；步骤2：步骤1预压完成后进行热压，在真空度＜100pa的环境下将模具升温至750‑850℃后对模具加压至40‑60Mpa，最后保温保压60‑120min得到磷酸锂靶材。本发明在热压烧结制备磷酸锂靶材前先进行特定压力的预压操作，从而控制了磷酸锂靶材的烧结接触面积，有效控制后续热压烧结工序的磷酸锂靶材晶粒生长情况，降低了磷酸锂靶材中的晶粒尺寸差异。
主权项：1.一种磷酸锂靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将磷酸锂粉体装入模具进行预压，压力为5-10Mpa；步骤2：步骤1预压完成后进行热压，在真空度＜100pa的环境下将模具升温至750-850℃后对模具加压至40-60Mpa，最后保温保压60-120min得到磷酸锂靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种磷酸锂靶材及其制备方法
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