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申请/专利权人：内蒙古鑫华半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种电子级多晶硅还原炉生长设备及沉积颗粒检测方法，电子级多晶硅还原炉生长设备包括：炉体和粒度检测装置，粒度检测装置用于检测炉室内的待测颗粒的粒度，粒度检测装置包括第一光源、第一图像获取单元、第二光源、第二图像获取单元和图像处理单元，第一光源适于朝向炉室内的待测颗粒发射激光，第一图像获取单元用于获取待测颗粒的动态光散射信号，第二光源适于照亮炉室内的待测颗粒，第二图像获取单元用于获取待测颗粒的图像，图像处理模块用于接收第一图像获取单元以及第二图像获取单元获取的图像信息并获取待测颗粒的粒度。根据本发明实施例的电子级多晶硅还原炉生长设备，可以避免因异常沉积颗粒导致的产品降级和生产损失。
主权项：1.一种电子级多晶硅还原炉生长设备，其特征在于，包括：炉体，所述炉体内具有炉室，所述炉体的外周壁上设有观察窗口；粒度检测装置，所述粒度检测装置用于检测所述炉室内的待测颗粒的粒度，其中，所述粒度检测装置包括第一光源、第一图像获取单元、第二光源、第二图像获取单元和图像处理单元，所述第一光源适于通过所述观察窗口朝向所述炉室内的待测颗粒发射激光，所述第一图像获取单元用于获取所述待测颗粒的动态光散射信号，所述第二光源适于通过所述观察窗口照亮所述炉室内的待测颗粒，所述第二图像获取单元用于获取所述待测颗粒的图像，所述图像处理模块用于接收所述第一图像获取单元以及所述第二图像获取单元获取的图像信息并获取所述待测颗粒的粒度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古鑫华半导体科技有限公司 电子级多晶硅还原炉生长设备及沉积颗粒检测方法
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