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申请/专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
摘要：本实用新型涉及一种电机热平衡组件，其包括铜块夹持组件、铜辫子和水冷铜块组件，水冷铜块组件固定安装在真空腔体上以提供冷源，铜块夹持组件与驱动电机热连接，铜块夹持组件通过柔性的铜辫子与水冷铜块组件热连接，驱动电机与铜块夹持组件之间具有第一导热铟片，铜块夹持组件与铜辫子之间具有第二导热铟片，铜辫子与水冷铜块组件之间具有第三导热铟片。根据本实用新型的电机热平衡组件，对置于真空环境内连续工作的驱动电机进行接触式冷却及热缓释，降低位移台的整体温升对光栅尺带的热胀影响，以使其在长期工作后温升仍能控制在较小的范围内，从而大幅降低安装在其上光栅尺的热膨胀，保障位移台在闭环控制下的运动精度。
主权项：1.一种电机热平衡组件，其特征在于，该电机热平衡组件包括铜块夹持组件、铜辫子和水冷铜块组件，其中，水冷铜块组件固定安装在真空腔体上以提供冷源，铜块夹持组件与驱动电机热连接，铜块夹持组件通过柔性的铜辫子与水冷铜块组件热连接，驱动电机与铜块夹持组件之间具有第一导热铟片，铜块夹持组件与铜辫子之间具有第二导热铟片，铜辫子与水冷铜块组件之间具有第三导热铟片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海应用物理研究所 一种电机热平衡组件
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