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申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所
摘要：本申请涉及一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法，包括：校准气源、微调阀、取气室、标准真空计、第一截止阀、第二截止阀、第三截止阀、第四截止阀、第五截止阀、膨胀室、第一抽气系统、第二抽气系统、校准室、毛细管元件、第一被校真空计、第二被校真空计、第三被校真空计、限流元件。本申请所述的一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法，利用连续两次压力衰减系统将气体压力经过两级压力衰减后获得标准压力，并将标准压力与被校真空计的读数作比较，从而实现双压力衰减法校准真空计；方法简单易行且成本低，能够用于不同量级、多种校准气体的真空计的校准，并延伸了真空校准的下限，还可实现同步对多台被校真空计进行校准的目的。
主权项：1.一种双压力衰减法校准真空计的装置，其特征在于，包括：校准气源、微调阀、取气室、标准真空计、第一截止阀、第二截止阀、第三截止阀、第四截止阀、第五截止阀、膨胀室、第一抽气系统、第二抽气系统、校准室、毛细管元件、第一被校真空计、第二被校真空计、第三被校真空计、限流元件，其中：所述校准气源与所述取气室连接，连接的管路上设置有所述微调阀；所述标准真空计安装在所述取气室上，用于测量所述取气室的压力；所述取气室与所述膨胀室连接，连接的管路上设置有所述第一截止阀；所述膨胀室还分别与所述第一抽气系统、所述毛细管元件连接，所述膨胀室与所述第一抽气系统连接的管路上设置有第二截止阀，与所述毛细管元件连接的管路上设置有第三截止阀；所述毛细管元件与所述校准室连接，且连接的管路上设置有所述第四截止阀；所述第一被校真空计、所述第二被校真空计、所述第三被校真空计均安装在所述校准室的中部位置；所述校准室与所述限流元件连接，同时所述限流元件与所述第二抽气系统连接；所述限流元件与所述第二抽气系统连接的管路上设置有第五截止阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种双压力衰减法校准真空计的装置及方法
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