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申请/专利权人：苏州芯合半导体材料有限公司
摘要：本发明属于ZTA陶瓷材料技术领域，具体涉及一种ZTA陶瓷劈刀材料的表面改性方法。该改性方法的具体改性步骤为：1）ZTA陶瓷胚件脱脂；2）ZTA陶瓷胚件一次烧结；3）铬离子注入；4）二次烧结。与现有技术相比，本发明的技术优点在于：本发明将铬离子注入到ZTA陶瓷材料表层，同时再增加二次烧结处理，将铬离子形成以氧化铬的形式存在，氧化铬可以顺化ZTA陶瓷晶体结构中的缺陷，同时减少ZTA陶瓷与其它物质之间的反应，从而提高ZTA陶瓷材料的耐磨性，由于离子注入的特性，ZTA陶瓷材料表层的氧化铬的厚度和分布更均匀，使得不同ZTA陶瓷劈刀产品之间的一致性更好。
主权项：1.一种ZTA陶瓷劈刀材料的表面改性方法，其特征在于：具体改性步骤为：步骤1）：ZTA陶瓷胚件脱脂将正常干压制作完成的ZTA陶瓷棒状胚件进行高温焙烧，然后自然降温，完成脱脂；步骤2）：ZTA陶瓷胚件一次烧结将步骤1）脱脂完成的ZTA陶瓷棒状胚件进行高温焙烧，然后自然降温，完成一次烧结,形成ZTA陶瓷劈刀基材；步骤3）：铬离子注入将固体氯化铬置于高温分解炉中进行加热分解，炉中通入惰性气体氩气或者氮气，控制惰性气体流量控制和通入时间，使固体氯化铬发生热分解释放出气态的氯化物和Cr3+离子，气态的Cr3+离子进入离子注入设备的离子源部件，反应室抽高真空，同时控制设备电压，使Cr3+离子束在静电场的作用下被加速到所需要的能量撞到加热过后的ZTA陶瓷劈刀基材表层，使Cr3+离子分布在到ZTA陶瓷劈刀基材表层中；步骤4）：二次烧结将步骤3）铬离子注入的陶瓷劈刀基材进行高温焙烧，然后自然降温，完成二次烧结，制得ZTA陶瓷劈刀材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯合半导体材料有限公司 一种ZTA陶瓷劈刀材料的表面改性方法
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