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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种版图拆分方法及系统、设备和存储介质，方法包括：获取待拆分的掩膜版图，包括多个原始图形；基于第一参考图形沿第一方向对原始图形进行第一预拆分，获得多个第一预拆分图形，第一参考图形沿第二方向延伸，且与原始图形有第一预设位置关系；沿第一方向将第一预拆分图形预分配至多个初始子掩膜版图中；基于第二参考图形沿第二方向对第一预拆分图形进行第二预拆分，以获得多个第二预拆分图形，多个初始子掩膜版图的拆分位置在第二方向上错开，第二参考图形沿第一方向延伸并沿第二方向排布，且与原始图形有第二位置关系；对第二预拆分图形进行再拆分，使第二预拆分图形分布于不同的子掩膜版图中。本发明有利于提升拆分效果，提高版图拆分的效率。
主权项：1.一种版图拆分方法，其特征在于，包括：获取待拆分的掩膜版图，所述掩膜版图包括多个原始图形；基于第一参考图形沿第一方向对所述原始图形进行第一预拆分，以获得多个第一预拆分图形，所述第一参考图形沿第二方向延伸并沿所述第一方向依次排布，且与所述原始图形具有第一预设位置关系，所述第一方向与第二方向相垂直；沿所述第一方向，将所述第一预拆分图形预分配至多个初始子掩膜版图中；基于第二参考图形沿所述第二方向分别对所述第一预拆分图形进行第二预拆分，以获得多个第二预拆分图形，多个所述初始子掩膜版图的拆分位置在所述第二方向上错开，所述第二参考图形沿所述第一方向延伸并沿所述第二方向依次排布，所述第二参考图形与所述原始图形之间具有第二预设位置关系；对所述第二预拆分图形进行再拆分，使所述第二预拆分图形分布于不同的子掩膜版图中。
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百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 版图拆分方法及系统、设备和存储介质
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