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申请/专利权人：江苏透波光电科技有限公司

摘要：本发明公开了一种陶瓷基板大功率真空溅射设备，涉及真空镀膜技术领域，包括真空腔体、设置于真空腔体中部的磁控靶、设置于磁控靶外围的固定架以及可拆卸固定于固定架上的陶瓷基板本体，所述真空腔体由筒体、设置于筒体顶端的顶板以及设置于筒体底部的底板组成；所述固定架包括均匀设置于磁控靶外围且与磁控靶平行设置的立架以及设置于立架上用于对陶瓷基板本体定位的夹持组件，所述立架为方框状。该陶瓷基板大功率真空溅射设备，通过设置的固定架由立架和夹持组件组成，便于对陶瓷基板本体进行夹持，且夹持时不会存在对陶瓷基板本体两个面的接触情况，进而便于对陶瓷基板本体侧面溅射镀膜，可提高溅射镀膜效果。

主权项：1.一种陶瓷基板大功率真空溅射设备，包括真空腔体、设置于真空腔体中部的磁控靶（6）、设置于磁控靶（6）外围的固定架以及可拆卸固定于固定架上的陶瓷基板本体（8），其特征在于：所述真空腔体由筒体（1）、设置于筒体（1）顶端的顶板（10）以及设置于筒体（1）底部的底板（9）组成；所述固定架包括均匀设置于磁控靶（6）外围且与磁控靶（6）平行设置的立架（7）以及设置于立架（7）上用于对陶瓷基板本体（8）定位的夹持组件，所述立架（7）为方框状；所述夹持组件包括对称固定连接于立架（7）内侧两端的侧板（25），所述侧板（25）远离立架（7）的一端设置有凹口（43），所述凹口（43）活动连接有夹持板（38），所述夹持板（38）的一端与凹口（43）的内壁之间设置有第二弹簧（44），所述夹持板（38）远离侧板（25）的一端设置有定位槽（39），且定位槽（39）的横截面为等腰梯形或等腰三角形，所述夹持板（38）通过定位槽（39）与陶瓷基板本体（8）的两端夹紧；所述夹持组件沿着立架（7）的高度方向均匀设置；同一高度的两个侧板（25）的底部对称固定连接有用于对陶瓷基板本体（8）进行支撑的托板（40）；还包括用于驱动同一高度的两个夹持板（38）开合的驱动组件，所述驱动组件包括设置于夹持板（38）下端内侧的斜槽（45），所述斜槽（45）的内侧活动设置有滑块（46），所述滑块（46）的底部竖直固定连接有立柱（42），且所述立柱（42）的下端延伸至侧板（25）的底部，且同一高度的两个立柱（42）的底部共同固定连接有拉板（41）；所述斜槽（45）内腔的侧面为斜面，所述滑块（46）与斜槽（45）的内壁斜面配合；所述磁控靶（6）通过第三转轴（47）转动连接于底板（9）和顶板（10）之间；所述底板（9）的底部固定连接有中空的底箱（2），所述底箱（2）的底部设置有底盖（13），所述底盖（13）的底部设置有用于驱动第三转轴（47）旋转的第二电机（24）；还包括角度调整机构，所述角度调整机构包括设置于立架（7）顶部且与顶板（10）活动连接的第一转柱（26），所述立架（7）的底部设置有第二转柱（29），所述底板（9）上转动连接有与第二转柱（29）一一对应的第二转轴（32），且第二转轴（32）的下端延伸至底箱（2）的内侧并固定连接有第一齿轮（12），相邻第一齿轮（12）之间啮合，所述第二转柱（29）的底部固定连接有直径小于第二转柱（29）的第二圆杆（30），所述第二圆杆（30）的底部固定连接有第二方形柱（31），所述第二转轴（32）的顶部设置有内径与第二圆杆（30）适配的第二圆孔（33），所述第二圆孔（33）的内腔底部设置有与第二方形柱（31）适配的第二方形孔（37），所述第二转轴（32）的下端一侧固定连接有横臂（34），所述磁控靶（6）底部的第三转轴（47）延伸至底箱（2）的内侧，且延伸至底箱（2）内侧一端上固定连接有与横臂（34）对应的拨动臂（36）；所述第二圆杆（30）与第二圆孔（33）活动连接，所述第二方形柱（31）与第二方形孔（37）活动插接；所述第一齿轮（12）的底部设置有复位组件，所述复位组件包括设置于第一齿轮（12）底部一端的立杆（35），所述底盖（13）的顶部均匀设置有与立杆（35）一一对应的弧形槽（21），所述弧形槽（21）的内侧中部活动连接有滑套（22），所述滑套（22）的两侧与弧形槽（21）的内腔末端之间对称固定连接有第一弹簧（23），所述弧形槽（21）的弧度与立杆（35）的运动轨迹适配，且所述立杆（35）与滑套（22）插接固定；所述顶板（10）的顶部设置有翻面组件，所述翻面组件包括设置于顶板（10）顶部的升降架（11），所述升降架（11）的底部设置有用于驱动升降架（11）升降的顶升气缸（15），所述升降架（11）的外侧设置有顶箱（3），所述顶箱（3）的底部中部设置有第二齿轮（16），所述顶箱（3）的顶部设置有驱动第二齿轮（16）旋转的第一电机（5），所述顶箱（3）内腔顶部的外围通过第一转轴（18）转动连接有第三齿轮（17），且第三齿轮（17）与立架（7）一一对应，且多个第三齿轮（17）均与第二齿轮（16）啮合，所述第一转柱（26）的上端延伸至升降架（11）的上方，并且第一转柱（26）与升降架（11）通过轴承转动连接，所述第一转柱（26）的顶部设置有直径小于第一转柱（26）的第一圆杆（27），所述第一圆杆（27）的顶部固定连接有第一方形柱（28），所述第一转轴（18）的底部设置有与第一圆杆（27）适配的第一圆孔（19），所述第一圆杆（27）与第一圆孔（19）活动插接，所述第一圆孔（19）内腔的顶部设置有与第一方形柱（28）适配的第一方形孔（20），所述第一方形柱（28）与第一方形孔（20）活动插接配合，配置为当第二方形柱（31）位于第二方形孔（37）的内腔时第一方形柱（28）位于第一圆孔（19）的内腔。

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