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申请/专利权人：湖南博云新材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种管式化学气相沉积炉出气口温度场实时调节装置和方法，该装置，包括炉体，所述炉体的底部设置有出气口；所述出气口呈阶梯孔状，出气口的小径孔段内固定装配有定盘，出气口的台阶处装配有动盘，所述定盘和动盘均开设有多个透气孔，所述动盘包括大盘体和小盘体；还包括控制器、用于驱动动盘旋转的旋转驱动模块、用于驱动旋转驱动模块升降的升降驱动模块以及用于出气口温度检测的温度传感器，所述旋转驱动模块、升降驱动模块以及温度传感器分别与控制器电连接。采用本申请的温度场实时调节装置和方法，实现了出气口温度场的精确调控，提高了产品质量。
主权项：1.一种管式化学气相沉积炉出气口温度场实时调节装置，包括炉体，所述炉体的底部设置有出气口；其特征在于：所述出气口呈阶梯孔状，出气口的小径孔段内固定装配有定盘，出气口的台阶处装配有动盘，所述定盘和动盘均开设有多个透气孔，所述动盘包括大盘体和小盘体；还包括控制器、用于驱动动盘旋转的旋转驱动模块、用于驱动旋转驱动模块升降的升降驱动模块以及用于出气口温度检测的温度传感器，所述旋转驱动模块、升降驱动模块以及温度传感器分别与控制器电连接，旋转驱动模块的输出端穿过大盘体且与大盘体竖向滑动配合，旋转驱动模块的输出端与大盘体之间通过键结构实现周向定位，旋转驱动模块的输出端与小盘体固定连接；所述旋转驱动模块包括设置在炉体顶部的旋转电机以及竖向伸入炉体内的传动杆，所述传动杆的顶端与旋转电机的输出轴传动连接，底端与小盘体固定连接，传动杆穿过大盘体且与大盘体竖向滑动配合，传动杆与大盘体之间通过键结构实现周向定位；所述大盘体与出气口的大径孔段之间存在间隙，所述小盘体与出气口的小径孔段匹配滑动配合；所述传动杆包括冷却杆体和连接杆体，所述冷却杆体的顶端与旋转电机的输出轴传动连接，底端通过连接杆体与动盘连接；所述冷却杆体内开设有冷却腔，冷却杆体的侧壁开设有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口均与冷却腔连通。
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权利要求：
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