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申请/专利权人：上海赛瑾精密科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种基于在Fab加工工艺的保持平整装置，包括装置本体，所述装置本体包括驱动设备、调节架和主固定块，所述调节架安装在驱动设备前端底部，所述主固定块设有两组，两组所述主固定块分别安装在调节架左右两侧；所述主固定块前端设有侧固定块，所述侧固定块呈L状结构，所述主固定块后端设有加强块，所述主固定块呈梯形状结构，所述主固定块顶部分别设有小调节角和大调节角，所述小调节角位于大调节角内侧，所述小调节角和大调节角均呈梯形状结构。该种装置可以自动化对晶圆进行整理，从而使晶圆保持平整，方便加工设备来对晶圆进行加工。
主权项：1.一种基于在Fab加工工艺的保持平整装置，其特征在于：包括装置本体1，所述装置本体1包括驱动设备2、调节架3和主固定块4，所述调节架3安装在驱动设备2前端底部，所述主固定块4设有两组，两组所述主固定块4分别安装在调节架3左右两侧；所述主固定块4前端设有侧固定块7，所述侧固定块7呈L状结构，所述主固定块4后端设有加强块8，所述主固定块4呈梯形状结构，所述主固定块4顶部分别设有小调节角9和大调节角10，所述小调节角9位于大调节角10内侧，所述小调节角9和大调节角10均呈梯形状结构。
全文数据：
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百度查询： 上海赛瑾精密科技有限公司 一种基于在Fab加工工艺的保持平整装置
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