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申请/专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
摘要：本发明中记载了一种氮含量检测方法、装置、存储介质及掺氮机台，该方法通过检测栅极氧化层的厚度；根据所述栅极氧化层的厚度确定所述栅极氧化层的等效电容厚度与含氮量之间的映射关系；在掺氮机台工作过程中，获取当前等效电容厚度；根据所述当前等效电容厚度和所述映射关系确定所述栅极氧化层的当前含氮量。在本发明中，通过确定栅极氧化层的等效电容厚度与含氮量之间的映射关系，然后根据检测当前等效电容厚度和映射关系确定栅极氧化层的当前含氮量，从而在不使用XPS机台的情况下，低成本的检测栅极氧化层中氮元素。
主权项：1.一种氮含量检测方法，其特征在于，应用于掺氮机台，所述氮含量检测方法包括：检测栅极氧化层的厚度；根据所述栅极氧化层的厚度确定所述栅极氧化层的等效电容厚度与含氮量之间的映射关系；在掺氮机台工作过程中，获取当前等效电容厚度；根据所述当前等效电容厚度和所述映射关系确定所述栅极氧化层的当前含氮量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏卓胜微电子股份有限公司 氮含量检测方法、装置、存储介质及掺氮机台
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