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发光元件及其制造方法 

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申请/专利权人:晶元光电股份有限公司

摘要:本发明公开一种发光元件及其制造方法,其中该发光元件包含:一基板,包含一上表面以及多个侧表面,其中多个侧表面包含第一侧表面以及第二侧表面相对于第一侧表面;以及一半导体叠层,位于上表面;其中:第一侧表面包含多个第一改质区,且多个第一改质区组成第一改质条痕;基板包含单晶六方晶格结构,第一侧表面及第二侧表面倾斜于单晶六方晶格结构的m面,且第一侧表面与m面之间形成一锐角夹角;以及第一侧表面包含一褶曲结构。

主权项:1.一种发光元件,包含:基板,包含上表面以及多个侧表面,其中该些侧表面包含第一侧表面以及第二侧表面相对于该第一侧表面;以及半导体叠层,位于该上表面;其中:该第一侧表面包含多个第一改质区,且该些第一改质区组成第一改质条痕;该基板包含单晶六方晶格结构,该第一侧表面及该第二侧表面倾斜于该单晶六方晶格结构的m面,且该第一侧表面及该第二侧表面与该m面之间形成锐角夹角;以及该第一侧表面包含褶曲结构。

全文数据:

权利要求:

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