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申请/专利权人:德沪涂膜设备(苏州)有限公司
摘要:本发明公开了一种钙钛矿真空干燥装置,包括:箱体、管道组件和层流板组件。箱体具有真空腔室,真空腔室用于放置基板。管道组件的第一端与真空泵连接,管道组件的第二端具有至少一个接口,接口与真空腔室连通,每个接口到管道组件的第一端的距离相等。层流板组件设置于真空腔室并设置于基板的上方,层流板组件至少包括一个层流板,层流板上设置有多个均匀分布的抽气孔。其中,接口设置于抽气孔的上方,每个抽气孔到对应的接口的距离相等,以使每个抽气孔到管道组件的第一端的距离相等。当真空泵工作时,能够确保每个抽气孔处的气压更加均衡,进而确保基板上各点蒸发速率均衡,从而确保了基板上各点涨晶更加一致,提高了钙钛矿薄膜的质量。
主权项:1.一种钙钛矿真空干燥装置,其特征在于,包括:箱体,所述箱体具有真空腔室,所述真空腔室用于放置基板;管道组件,所述管道组件的第一端与真空泵连接,所述管道组件的第二端具有至少一个接口,所述接口与所述真空腔室连通,每个所述接口到所述管道组件的第一端的距离相等;层流板组件,所述层流板组件设置于所述真空腔室并设置于所述基板的上方,所述层流板组件至少包括一个层流板,所述层流板上设置有多个均匀分布的抽气孔;其中,所述接口设置于所述抽气孔的上方,每个所述抽气孔到对应的所述接口的距离相等,以使每个所述抽气孔到所述管道组件的第一端的距离相等。
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百度查询: 德沪涂膜设备(苏州)有限公司 一种钙钛矿真空干燥装置
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