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申请/专利权人：德沪涂膜设备(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种钙钛矿真空干燥装置，包括：箱体、管道组件和层流板组件。箱体具有真空腔室，真空腔室用于放置基板。管道组件的第一端与真空泵连接，管道组件的第二端具有至少一个接口，接口与真空腔室连通，每个接口到管道组件的第一端的距离相等。层流板组件设置于真空腔室并设置于基板的上方，层流板组件至少包括一个层流板，层流板上设置有多个均匀分布的抽气孔。其中，接口设置于抽气孔的上方，每个抽气孔到对应的接口的距离相等，以使每个抽气孔到管道组件的第一端的距离相等。当真空泵工作时，能够确保每个抽气孔处的气压更加均衡，进而确保基板上各点蒸发速率均衡，从而确保了基板上各点涨晶更加一致，提高了钙钛矿薄膜的质量。
主权项：1.一种钙钛矿真空干燥装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体具有真空腔室，所述真空腔室用于放置基板；管道组件，所述管道组件的第一端与真空泵连接，所述管道组件的第二端具有至少一个接口，所述接口与所述真空腔室连通，每个所述接口到所述管道组件的第一端的距离相等；层流板组件，所述层流板组件设置于所述真空腔室并设置于所述基板的上方，所述层流板组件至少包括一个层流板，所述层流板上设置有多个均匀分布的抽气孔；其中，所述接口设置于所述抽气孔的上方，每个所述抽气孔到对应的所述接口的距离相等，以使每个所述抽气孔到所述管道组件的第一端的距离相等。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德沪涂膜设备(苏州)有限公司 一种钙钛矿真空干燥装置
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