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申请/专利权人:国际商业机器公司
摘要:一种在晶片探测系统中测试至少一个单芯片10的方法,至少包括:提供适配器板20,所述适配器板具有用于接触所述晶片探测系统的真空吸盘60的界面表面16,所述适配器板被配置成将所述至少一个单芯片容纳在切口28中,其中芯片后表面12与所述界面表面16齐平;将具有所述至少一个单芯片的所述适配器板装载到所述晶片探测系统中;确定在所述搜索区域50中所述至少一个单芯片在所述适配器板中的精确位置;以及利用存储在晶片探测系统的控制器中的测试例程测试至少一个单芯片。用于在晶片探测系统中测试至少一个单晶片的设备及适配器板。
主权项:1.一种用于在晶片探测系统中测试至少一个单芯片的方法,至少包括:提供适配器板,适配器板具有用于接触晶片探测系统的真空吸盘的界面表面,适配器板被配置成将至少一个单芯片容纳在切口中,其中芯片后表面与界面表面齐平;将具有至少一个单芯片的适配器板装载到晶片探测系统中;读取装载的适配器板的识别数据;将装载的适配器板的识别数据存储在晶片探测系统的控制器中;将真空吸盘连同适配器板移动至晶片探测系统的探针的预定搜寻区域;确定在搜索区域中至少一个单芯片在适配器板中的精确位置;调整真空吸盘的位置,直到至少一个单晶片的前表面处于被晶片探测系统的探针接触的操作区域中;将与位于操作区域中的至少一个单芯片对应的真空吸盘的调整后的位置添加到装载的适配器板的存储的识别数据;使至少一个单芯片与晶片探测系统的探针电接触;以及用存储在晶片探测系统的控制器中的测试例程测试至少一个单芯片。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 国际商业机器公司 在晶片探测系统中测试单芯片
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