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申请/专利权人：浙江衢化氟化学有限公司
摘要：本发明公开了一种以三氯氢硅制备硅烷的装置，包括反应精馏塔、多级冷凝系统、提压泵和复合塔，反应精馏塔的塔顶物料出口与多级冷凝系统的进料口连接，多级冷凝系统的出料口与提压泵的进料口连接，提压泵的出料口与复合塔的物料进口连接，复合塔的塔釜出料口与反应精馏塔的测线进料口相连。本发明还公开了使用该装置制备高纯硅烷的方法。本发明结构简单，避免了大量的物料分离循环反应，同时三氯氢硅的转化率高，能耗和成本低，产品纯度高，有利于进行规模化生产。
主权项：1.一种以三氯氢硅制备高纯硅烷的装置，所述装置包括反应精馏塔、多级冷凝系统、提压泵和复合塔，其特征在于，所述反应精馏塔的塔顶物料出口与所述多级冷凝系统的进料口连接，所述多级冷凝系统的出料口与所述提压泵的进料口连接，所述提压泵的出料口与所述复合塔的物料进口连接，所述复合塔的塔釜出料口与所述反应精馏塔的测线进料口相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江衢化氟化学有限公司 一种以三氯氢硅制备高纯硅烷的装置及其方法
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