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申请/专利权人:江西农业大学
摘要:本发明涉及光谱扫描仪技术领域,尤其涉及一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪,包括用于发射脉冲光束的激光发射器、聚焦透镜、反射光栅、振镜、陷波滤镜、半透半反射振镜、高速面阵CCD阵列、光谱探头以及样品台,所述激光发射器发射出的脉冲光束通过所述聚焦透镜聚焦后经过倾斜设置的反射光栅和振镜反射偏转汇聚于所述样品台上的被测物体表面,被测物体表面的原子激发并发出光,激发出的光通过所述滤波滤镜与倾斜设置的半透半反射振镜,部分光通过所述光谱探头捕捉,另一部分成像到所述高速面阵CCD阵列的感光面上。本发明可以在进行激光打标作业的同时快速获取平面样品中的光谱信息,并通过矫正算法对物体表面成分进行进一步的定性定量分析。
主权项:1.一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪,其特征在于:包括用于发射脉冲光束的激光发射器(1)、聚焦透镜(2)、反射光栅(3)、振镜(4)、陷波滤镜(5)、半透半反射振镜(6)、高速面阵CCD阵列(7)、光谱探头(8)以及样品台(9),所述激光发射器(1)发射出的脉冲光束通过所述聚焦透镜(2)聚焦后经过倾斜设置的反射光栅(3)和振镜(4)反射偏转汇聚于所述样品台(9)上的被测物体表面,被测物体表面的原子激发并发出光,激发出的光通过所述陷波滤镜(5)与倾斜设置的半透半反射振镜(6),部分光通过所述光谱探头(8)捕捉,另一部分成像到所述高速面阵CCD阵列(7)的感光面上;所述反射光栅(3)呈倾斜设置,其上表面能够将经过所述聚焦透镜(2)聚焦后的脉冲光束反射至所述振镜(4)的下表面;所述高速面阵CCD阵列(7)的感光面上获取的CCD的输出信号与积分时间成正比,CCD的真值信号会进行频谱搬移,需对积分时间进行调制,积分时间变化如公式所示, ;式中:tn为第n次采样的积分时间;t0为采用低通滤波法时的积分时间;ω为正弦调制的数字频率;设实测信号为S1,实际信号为S2,白噪声为ωn则,如公式所示: ;假设S1的快速傅里叶变换为S1*,数字带通滤波器的传输函数为Hn,那么S1经过带通滤波后输出信号S为,如公式所示: 。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江西农业大学 一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪
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