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申请/专利权人：安迈特科技(北京)有限公司
摘要：本公开提供了一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置，蒸发舟用于真空蒸发镀膜，蒸发舟包括：蒸发舟本体，蒸发舟本体具有大致平行的第一面和第二面，第一面开设有容置槽，容置槽配置为放置靶材；其中，容置槽包括：熔化区和蒸镀区，熔化区与蒸镀区分别位于容置槽的两端且熔化区与蒸镀区连通，熔化区配置为融化靶材，蒸镀区配置为蒸发靶材。本公开的蒸发舟通过将熔化靶材和蒸镀的步骤分区进行，有效的防止了由于熔融状态的金属靶材与未融化的金属靶材之间不稳定的状态引起的飞溅；通过控制液态的靶材的流速和路径，可以使蒸镀区内的液态靶材液面稳定，不会引起蒸发舟液面波动现象。并且，还可以直接向熔化区注入液态的金属靶材，减少送丝过程。
主权项：1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：蒸发舟本体100，所述蒸发舟本体100具有大致平行的第一面110和第二面120，所述第一面110开设有容置槽130，所述容置槽130配置为放置靶材；其中，所述容置槽130包括：熔化区131和蒸镀区132，所述熔化区131与所述蒸镀区132分别位于所述容置槽130的两端且所述熔化区131与所述蒸镀区132连通，所述熔化区131配置为融化所述靶材，所述蒸镀区132配置为蒸发所述靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安迈特科技(北京)有限公司 一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置
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