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一种避免追板的DES生产线 

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申请/专利权人:科睿斯半导体科技(东阳)有限公司

摘要:本实用新型公开了属于DES生产线技术领域的一种避免追板的DES生产线,包括依次设置的投板输送机、显影设备、蚀刻设备以及去膜设备,其中,投板输送机由伺服电机驱动,显影设备、蚀刻设备以及去膜设备上分别安装有速度传感器,速度传感器以及伺服电机分别与PLC控制器信号连接。本实用新型通过速度传感器检测显影设备、蚀刻设备以及去膜设备上产品的输送速度,通过PLC控制器进行判断,并将最佳的输送速度信号传递给伺服电机,控制投板输送机按最佳速度进行投板,使投板输送机可以自动调整投板速度,避免人为设置不当导致各设备之间快慢速度衔接不当导致追板或叠板的问题。

主权项:1.一种避免追板的DES生产线,其特征在于:包括依次设置的投板输送机、显影设备、蚀刻设备以及去膜设备,其中,投板输送机由伺服电机驱动,显影设备、蚀刻设备以及去膜设备上分别安装有速度传感器,速度传感器以及伺服电机分别与PLC控制器信号连接。

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