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申请/专利权人：清华大学;深圳清力技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种垂直开合式超滑微阀，包括阀盖、阀座和驱动电极，阀盖包括可弹性弯曲的支撑梁和固定于支撑梁下方的密封盖；阀座中部预设有通孔，且支撑梁架设于通孔的上方，且密封盖活动盖设于通孔上，阀座靠近通孔的外缘具有原子级平整表面，密封盖朝向通孔的一侧也具有原子级平整表面；驱动电极用于驱动密封盖朝向通孔移动，驱动电极设于阀座内。本实用新型的微阀利用单晶石墨制备的阀盖与第一绝缘层两个超滑表面的原子级贴合所具有的密封性实现对流体的控制，可以实现对高压流体的有效控制，降低阀门闭合时的泄露，同时耐磨损、寿命长、可靠性好；本实用新型的微阀还可以实现开度的自驱动反馈。
主权项：1.一种垂直开合式超滑微阀，其特征在于，包括：阀盖，包括可弹性弯曲的支撑梁和固定于所述支撑梁下方的密封盖；阀座，所述阀座中部预设有通孔，且所述支撑梁架设于所述通孔的上方，且所述密封盖活动盖设于所述通孔上，所述阀座靠近所述通孔的外缘具有原子级平整表面，所述密封盖朝向所述通孔的一侧也具有原子级平整表面；用于驱动所述密封盖朝向所述通孔移动的驱动电极，所述驱动电极设于所述阀座内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 深圳清力技术有限公司 一种垂直开合式超滑微阀
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