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申请/专利权人：珠海普伊特自动化系统有限公司
摘要：本实用新型公开了一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，由相互套设的抽风外管及抽风内管组成，且抽风外管和抽风内管上均开有两排径向错位并对应重合的抽风口增加了抽风范围使抽风更均匀；此外，抽风管的抽风口大小是实现均匀抽风的关键，按照距离抽风墙负压口的远近改变孔径，即靠近抽风墙一端负压大则减小抽风口以降低抽风量，远离抽风墙一端负压小则增大抽风口孔径以提高抽风量，从而实现抽风管轴向上的均匀抽风；此外，抽风外管和抽风内管间隙配合可以转动便于调节抽风口的大小，使得槽体的抽风强弱变得可控。
主权项：1.一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，包括抽风内管20及轴向套设在所述抽风内管20外侧的抽风外管10；所述抽风内管20的一端设置有堵头40，且所述抽风外管10与抽风内管20的另一端连通至抽风墙；所述抽风外管10上开设有至少两排外抽风口，所述抽风内管20上开设有至少两排内抽风口，且每排所述外抽风口均与每排所述内抽风口重合对应；所述外抽风口及内抽风口的大小沿轴向由靠近所述抽风墙的一端向靠近所述堵头40的一端逐步增大。
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权利要求：
百度查询： 珠海普伊特自动化系统有限公司 一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管
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