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申请/专利权人：苏州美芝恩电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台及自动修正板机构，其技术方案包括蒸发台，所述蒸发台内部设置有真空腔，所述真空腔下端安装有底座，所述底座内部下端安装有冷却内壁，所述冷却内壁两侧安装有导热管，所述底座中心处安装有坩埚，所述真空腔上端安装有顶板，所述顶板中心处安装有电子源。本实用新型通过通过在蒸发台上设计一种可以自动调整的修正板，在面对镀膜材料和镀膜条件发生改变的情况下，能自由的改变修正板的覆盖面积用来适应机台的条件，解决因为蒸发源到电子源的距离不同导致无法均匀镀膜的问题，大大提高了镀膜效率。
主权项：1.一种电子束蒸发台及自动修正板机构，包括蒸发台1，其特征在于：所述蒸发台1内部设置有真空腔5，所述真空腔5下端安装有底座7，所述底座7内部下端安装有冷却内壁12，所述冷却内壁12两侧安装有导热管10，所述底座7中心处安装有坩埚8，所述真空腔5上端安装有顶板4，所述顶板4中心处安装有电子源3，所述顶板4两端安装有长杆2，所述长杆2下端安装有三角支撑架13，所述三角支撑架13两侧安装有驱动电机18，所述驱动电机18中间安装有转轴14，所述转轴14上安装有修正板6和修正框架17，所述修正框架17上安装有第一滑杆15和第二滑杆16。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州美芝恩电子科技有限公司 一种电子束蒸发台及自动修正板机构
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