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申请/专利权人:苏州美芝恩电子科技有限公司
摘要:本实用新型涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发台及自动修正板机构,其技术方案包括蒸发台,所述蒸发台内部设置有真空腔,所述真空腔下端安装有底座,所述底座内部下端安装有冷却内壁,所述冷却内壁两侧安装有导热管,所述底座中心处安装有坩埚,所述真空腔上端安装有顶板,所述顶板中心处安装有电子源。本实用新型通过通过在蒸发台上设计一种可以自动调整的修正板,在面对镀膜材料和镀膜条件发生改变的情况下,能自由的改变修正板的覆盖面积用来适应机台的条件,解决因为蒸发源到电子源的距离不同导致无法均匀镀膜的问题,大大提高了镀膜效率。
主权项:1.一种电子束蒸发台及自动修正板机构,包括蒸发台1,其特征在于:所述蒸发台1内部设置有真空腔5,所述真空腔5下端安装有底座7,所述底座7内部下端安装有冷却内壁12,所述冷却内壁12两侧安装有导热管10,所述底座7中心处安装有坩埚8,所述真空腔5上端安装有顶板4,所述顶板4中心处安装有电子源3,所述顶板4两端安装有长杆2,所述长杆2下端安装有三角支撑架13,所述三角支撑架13两侧安装有驱动电机18,所述驱动电机18中间安装有转轴14,所述转轴14上安装有修正板6和修正框架17,所述修正框架17上安装有第一滑杆15和第二滑杆16。
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百度查询: 苏州美芝恩电子科技有限公司 一种电子束蒸发台及自动修正板机构
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