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一种光学窗口的封装方法 

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申请/专利权人:华侨大学

摘要:本发明公开了一种光学窗口的封装方法,包括如下步骤:1将激光束透过透明光窗片后聚焦在金属窗座的上表面,使得金属窗座吸收激光能量升温气化;2调节激光能量,使得激光能量大于金属窗座的击穿阈值,此时金属窗座将被击穿,产生雪崩电离,形成高温、高压等离子体;3持续基于该等离子体激光能量使其发生局部爆炸,并形成向上飘逸的等离子体羽流,该等离子体羽流沉积或蚀刻所述透明光窗片的下表面,导致下表面材料瞬态吸收增强,所述透明光窗片的下表面的等离子体由于温度降低形成熔融态金属;所述透明光窗片继续吸收激光能量引起热烧蚀,进而与步骤2中的被击穿的金属窗座表面形成化学冶金结合,进而实现透明光窗片与金属窗座的焊接封装。

主权项:1.一种光学窗口的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:4将激光束透过透明光窗片后聚焦在金属窗座的上表面,使得金属窗座吸收激光能量升温气化;5调节激光能量,使得激光能量大于金属窗座的击穿阈值,此时金属窗座将被击穿,产生雪崩电离,形成高温、高压等离子体;6持续基于该等离子体激光能量使其发生局部爆炸,并形成向上飘逸的等离子体羽流,该等离子体羽流沉积或蚀刻所述透明光窗片的下表面,导致下表面材料瞬态吸收增强,所述透明光窗片的下表面的等离子体由于温度降低形成熔融态金属;7所述透明光窗片继续吸收激光能量引起热烧蚀,进而与步骤2中的被击穿的金属窗座表面形成化学冶金结合,进而实现透明光窗片与金属窗座的焊接封装。

全文数据:

权利要求:

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