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申请/专利权人：太原理工大学
摘要：本发明属于半导体光电探测器技术领域，具体涉及一种晶体管型4H‑SiC基宽谱表面等离激元光电探测器及其制备方法，包括4H‑SiC基底，所述4H‑SiC基底的硅面上设置有Au纳米颗粒层，所述Au纳米颗粒层为多个Au纳米颗粒呈岛状分布形成，所述Au纳米颗粒层上设置有分离的半透光的源电极和漏电极，所述4H‑SiC基底的碳面上设置有不透光的栅电极。本发明可以实现具有高增益性能的紫外‑可见‑近红外宽谱光信号探测。
主权项：1.一种晶体管型4H-SiC基宽谱表面等离激元光电探测器，其特征在于，包括4H-SiC基底1，所述4H-SiC基底1的硅面上设置有Au纳米颗粒层2，所述Au纳米颗粒层2为多个Au纳米颗粒呈岛状分布形成，所述Au纳米颗粒层2上设置有分离的半透光的源电极3和漏电极4，所述4H-SiC基底1的碳面上设置有不透光的栅电极5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 太原理工大学 一种晶体管型4H-SiC基宽谱表面等离激元光电探测器及其制备方法
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