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申请/专利权人：西安卓阳科技服务有限公司
摘要：本发明公开了一种用于薄膜材料制备的可控气相沉积增材制造装置，包括支架、反应腔组件、进料组件和举升组件；反应腔组件包括设在支架内的下腔体和卡接在下腔体上的密封盖，下腔体内设有晶圆载盘；进料组件包括设在支架顶端的原料箱、与原料箱连接的伸缩软管和与伸缩软管连接的原料喷头；举升组件包括设在支架内且与晶圆载盘连接的螺纹套筒、与螺纹套筒连接的举升丝杠和为举升丝杠提供动力的举升电机；本发明结构设计合理，能够对晶圆载盘进行稳定举升，有利于提高薄膜材料的厚度均匀性，适宜推广使用。
主权项：1.一种用于薄膜材料制备的可控气相沉积增材制造装置，其特征在于，包括支架1、设置在支架1内部上端的反应腔组件2、设置在支架1上端且与所述反应腔组件2连接的进料组件3和设置在支架1内部且位于所述反应腔组件2下方的举升组件4；所述支架1内部从上至下依次设置有第一隔板10和第二隔板11；所述举升组件4与反应腔组件2连接；所述反应腔组件2包括设置在第一隔板10上的下腔体20和活动卡接在所述下腔体20顶端的密封盖21；所述下腔体20内底部活动设置有晶圆载盘22，下腔体20侧壁上设置有真空气嘴200；所述密封盖21周向等距分布有数个分别与支架1内顶部连接的第一电动杆23；所述进料组件3包括设置在支架1顶端的原料箱30、与所述原料箱30连接且贯穿密封盖21的伸缩软管31、活动设置在密封盖21下底面且与所述伸缩软管31连接的原料喷头32；所述原料箱30内部设置有电加热套33，伸缩软管31与原料箱30连接处设置有压力泵34；所述举升组件4包括数个等距分布在晶圆载盘22下底面且分别贯穿第一隔板10的螺纹套筒40、数个转动卡接在第二隔板11上且与各个螺纹套筒40一一对应螺纹连接的举升丝杠41和设置在第二隔板11上且为各个所述举升丝杠41提供动力的举升电机42；各个螺纹套筒40分别与第一隔板10滑动卡接；各个举升丝杠41底端均设置有连接齿轮410，第二隔板11下底面设置有与各个所述连接齿轮410啮合连接的联动齿圈43；所述举升电机42的输出轴贯穿第二隔板11且设置有与所述联动齿圈43啮合连接的主动齿轮420。
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