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申请/专利权人：苏州阿童木新材料科技有限公司

摘要：本发明涉及材料分析技术领域，具体涉及基于原子级精度制造的化学气相沉积自动化分析系统，包括工艺控制模块、工艺优化模块、优化修订模块、指令发送模块、质量监测模块、数据存储模块以及用户界面模块，其中；所述工艺控制模块，用于根据控制指令设定和调整化学气相沉积过程中的工艺参数；所述工艺优化模块，用于对采集到的工艺数据进行实时分析，生成第一工艺优化建议；所述优化修订模块，对沉积材料的物理和化学特性进行分析，得到修订后的第二工艺优化建议。本发明，利用高斯过程模型量化不确定性，高效搜索最优工艺参数组合，通过这一创新，显著提高了工艺优化的效率和精度。

主权项：1.基于原子级精度制造的化学气相沉积自动化分析系统，其特征在于，包括工艺控制模块、工艺优化模块、优化修订模块、指令发送模块、质量监测模块、数据存储模块以及用户界面模块，其中；所述工艺控制模块，用于根据控制指令设定和调整化学气相沉积过程中的工艺参数，包括反应温度、沉积时间、气体流量、压力、基底旋转速度以及前驱体供给速率，工艺控制模块内嵌设置有数据采集器，数据采集器实时采集化学气相沉积过程中的各项工艺数据，包括反应温度数据、沉积时间数据、气体流量数据、压力数据、基底旋转速度数据以及前驱体供给速率数据；所述工艺优化模块，用于对采集到的工艺数据进行实时分析，生成第一工艺优化建议，工艺优化模块具体包括：数据处理单元，接收和预处理数据采集器传输的反应温度数据、沉积时间数据、气体流量数据、压力数据、基底旋转速度数据以及前驱体供给速率数据，进行数据清洗和滤波，去除噪声和异常值；参数关联分析单元，对预处理后的工艺数据进行多维度关联分析，建立各工艺参数与沉积效果之间的关系模型，识别出对沉积质量影响最大的关键参数；工艺优化算法单元，基于关联分析结果，应用贝叶斯优化算法对工艺参数进行优化计算，生成第一工艺优化建议，贝叶斯优化算法通过构建代理模型，量化不确定性，搜索最优工艺参数组合；所述优化修订模块，对沉积材料的物理和化学特性进行分析，包括晶体结构、成分比例和电学性能，并根据分析结果对数据分析模块生成的工艺优化建议进行二次修订，得到修订后的第二工艺优化建议；所述指令发送模块，与所述优化修订模块以及工艺控制模块连接，将修订后的第二工艺优化建议转换为控制指令，自动调整化学气相沉积过程中的工艺参数；所述质量监测模块，对化学气相沉积后的薄膜进行质量监测，包括薄膜厚度、表面粗糙度、均匀性；所述数据存储模块，用于存储各项工艺数据和分析结果，形成工艺数据库；所述用户界面模块，用于显示各项工艺参数、分析结果，并接受用户输入的工艺设定和调整指令。

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