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申请/专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种一种具有高极限真空度的复合型低温泵，包括：制冷机、低温泵壳、制冷单元、第一吸附单元及第二吸附单元，低温泵壳设有内腔，低温泵壳与制冷机连接，制冷机配置有伸入至内腔内的制冷单元，第一吸附单元连接于制冷单元，第一吸附单元能够吸附经过制冷单元冷凝后的气体，第二吸附单元连接于低温泵壳并能够吸附内腔中的活性气体。本发明在使用时，内腔与外部容器连通，启动制冷机，制冷机通过制冷单元对内腔及容器内的空气快速的降温并抽真空，第一吸附单元将气体进行吸附、冷凝和捕集，启动第二吸附单元，第二吸附单元启动后逐渐的吸附真空腔体中残余的非冷凝性气体，从而使得低温泵能够继续提高内腔及容器内的真空度。
主权项：1.一种具有高极限真空度的复合型低温泵，其特征在于，包括：制冷机100；低温泵壳200，所述低温泵壳200设有开口朝上的内腔201，所述低温泵壳200与所述制冷机100连接，所述制冷机100配置有伸入至所述内腔201内的制冷单元110；第一吸附单元300，所述第一吸附单元300连接于所述制冷单元110，所述第一吸附单元300能够吸附经过所述制冷单元110冷凝后的气体；第二吸附单元400，连接于所述低温泵壳200并能够吸附所述内腔201中的活性气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山凯旋真空科技股份有限公司 具有高极限真空度的复合型低温泵
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