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申请/专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要：本发明公开了一种基于光强和条纹清晰度结合的干涉自动对焦装置及方法，涉及白光干涉检测领域，采用本方案，通过精密运动平台的精确调节，以及通过专门设计的小孔光阑使光强极值点和成像清晰点存在固定偏差，利用相同参数下相机图像光强只与位置有关的特点，采用改进的爬山法对光强极值点进行定位，随后利用偏差值调整到干涉条纹附近，通过遍历扫描找到清晰度最大值的位置，对干涉条纹位置进行精确定位，在测量前不需要手动调整找到干涉条纹，可获得大范围的自动对焦结果。
主权项：1.一种基于光强和条纹清晰度结合的干涉自动对焦装置，包括光源1、准直镜组2、干涉显微物镜3、分束器4、管镜5和相机6；所述光源1发出的光经准直镜组2后形成平行光束；所述平行光束经分束器4反射后通过干涉显微物镜3照明在被测样品9表面；所述被测样品9将光束反射回来依次经过干涉显微物镜3、分束器4和管镜5，并照射在相机6上；其特征在于，还包括：小孔光阑8，所述小孔光阑8位于所述光源1和准直镜组2之间，所述小孔光阑8用于滤去杂散光；精密运动平台10，所述分束器4、干涉显微物镜3、管镜5和相机6的中心共线，形成光轴；所述干涉显微物镜3通过扫描器7和所述精密运动平台10连接，所述精密运动平台10的移动方向和所述光轴平行，并用于带动所述干涉显微物镜3沿光轴方向移动，以通过小孔光阑8在所述干涉显微物镜3和被测样品9之间依次形成光强极值点和成像清晰点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 基于光强和条纹清晰度结合的干涉自动对焦装置及方法
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