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申请/专利权人：镭神泰克科技(苏州)有限公司
摘要：本申请公开了一种晶圆打标装置及其打标方法，涉及晶圆打标技术领域。本申请包括工作台，工作台的上方设置有转盘，转盘的顶部呈环形阵列固定连接有若干个支撑块，支撑块的一侧固定连接有机械手，工作台的顶部固定连接有打标台，位于打标台一侧工作台的顶部固定连接有竖板，竖板的一侧滑动连接有激光打标装置，激光打标装置由激光器、扫描镜组、控制系统等组件组成，激光打标装置与打标台相适配，工作台的顶部固定连接有输送座，输送座的内部设置有输送皮带，转盘与工作台之间设置有下料机构，工作台的顶部设置有清理机构，通过启动旋转电机使得打标完成后的晶圆被输送皮带输送到下一道程序，减少了人为操作的时间，提高了生产效率。
主权项：1.一种晶圆打标装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的上方设置有转盘（2），所述转盘（2）的顶部呈环形阵列固定连接有若干个支撑块（3），所述支撑块（3）的一侧固定连接有机械手（4），所述工作台（1）的顶部固定连接有打标台（5），位于所述打标台（5）一侧工作台（1）的顶部固定连接有竖板（6），所述竖板（6）的一侧滑动连接有激光打标装置（7），所述激光打标装置（7）与打标台（5）相适配，所述工作台（1）的顶部固定连接有输送座（30），所述输送座（30）的内部设置有输送皮带（31），所述转盘（2）与工作台（1）之间设置有下料机构，所述工作台（1）的顶部设置有清理机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镭神泰克科技(苏州)有限公司 一种晶圆打标装置及其打标方法
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