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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司

摘要：一种微机电系统及其制作方法。微机电系统包括梳齿结构100、弹簧结构200以及电极结构300。梳齿结构100包括交替设置的第一梳齿111和第二梳齿121，第二梳齿121为相对于第一梳齿111移动的悬空结构。电极结构300与梳齿结构100电连接。连接第二梳齿121的悬臂梁122与弹簧结构200连接。第一梳齿111与第二梳齿121的线宽均为3～7微米，第一梳齿111和第二梳齿121的线宽均不小于相邻设置的第一梳齿111与第二梳齿121之间的距离，相邻设置的第一梳齿111与第二梳齿121交叠部分的长度与第一梳齿111的长度之比为5％50％，第一梳齿111与第二梳齿121的长度之比为0.7～1.5，悬臂梁122的宽度不小于第二梳齿121的线宽，第一梳齿111与第二梳齿121的厚度均为300纳米～500微米，以平衡静电驱动力和第二梳齿121的稳定性。

主权项：一种微机电系统，包括：梳齿结构，包括第一梳齿部和第二梳齿部，所述第一梳齿部包括沿第一方向排列且沿第二方向延伸的多个第一梳齿，所述第二梳齿部包括沿所述第一方向排列且沿所述第二方向延伸的多个第二梳齿，所述多个第二梳齿的至少部分位于所述多个第一梳齿的间隔中以使所述多个第一梳齿和所述多个第二梳齿的至少部分交替设置，所述第二梳齿部为悬空结构，且被配置为相对于所述第一梳齿部在所述第二方向上移动，所述第一方向与所述第二方向相交；弹簧结构，与所述第二梳齿部连接；电极结构，包括第一电极、第二电极、第一电极线以及第二电极线，所述第一电极通过所述第一电极线与所述第一梳齿部电连接，所述第二电极通过所述第二电极线与所述第二梳齿部电连接，其中，所述第二梳齿部还包括连接所述多个第二梳齿的悬臂梁，所述悬臂梁与所述弹簧结构连接；所述第一梳齿的线宽与所述第二梳齿的线宽均为3～7微米，所述第一梳齿的线宽和所述第二梳齿的线宽均不小于相邻设置的所述第一梳齿与所述第二梳齿之间的距离，相邻设置的所述第一梳齿与所述第二梳齿在一平面上的正投影交叠部分的长度与所述第一梳齿的长度之比为5％～50％，所述第一梳齿的长度与所述第二梳齿的长度之比为0.7～1.5，所述悬臂梁的宽度不小于所述第二梳齿的线宽，所述第一梳齿的厚度与所述第二梳齿的厚度均为300纳米～500微米，所述平面为平行于所述第二方向且垂直于所述第一方向的平面。

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