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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本实用新型的实施例提供一种沉积工具包含磁体组件、单个阴极以及用于使支撑半导体衬底的底座偏压的电源电路。在沉积惰性金属材料的沉积操作期间，沉积工具可调变自包含具有不同磁场强度范围的螺旋形频带的磁体组件发出的电磁场。沉积工具可具有相对于没有磁体组件、单个阴极以及电源电路的物理气相沉积工具增加的产出量。惰性金属材料可具有相对于不使用磁体组件、单个阴极以及电源电路的沉积工具沉积的惰性金属材料的晶粒大小更大的晶粒大小。
主权项：1.一种沉积工具，其特征在于，包括：磁体组件；处理腔室，在所述磁体组件下方；目标结构，包含惰性金属材料，在处理腔室内，其中所述目标结构配置成在所述处理腔室内的溅镀操作期间在所述处理腔室内作为单个阴极执行；底座组件，在所述处理腔室内的所述目标结构下方，其中所述底座组件配置成在所述处理腔室内的所述溅镀操作期间支撑半导体衬底；电源电路，连接至所述底座组件；以及控制器，配置成在所述溅镀操作期间启动所述电源电路以将偏压功率提供至所述底座组件，其中将所述偏压功率提供至所述底座组件调变由所述磁体组件产生的包含螺旋形频带的电磁场，以及其中所述底座组件在所述溅镀操作期间作为阳极执行。
全文数据：
权利要求：
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