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一种半导体元件用烘干机 

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申请/专利权人:安徽省富捷电子科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体元件用烘干机,涉及烘干机技术领域,包括箱体,所述箱体两侧的内腔分别转动连接有丝杆柱一和丝杆柱二,所述箱体的一侧设有电机,所述电机的输出端与丝杆柱一的一端固定连接,所述丝杆柱一和丝杆柱二的一端均固定连接有传动轮,两组传动轮的表面通过皮带转动连接;所述丝杆柱一贯穿箱体一内侧的滑槽处并卡设有移动长板,且移动长板的两端分别与丝杆柱一和丝杆柱二的表面转动连接;所述移动长板的两侧均固定连接有多个夹持组件。解决了对圆形硅片用于不同的地方,尺寸不一,而现在的硅片半导体烘干机结构对于圆形硅片的固定,结构效果不佳,从而达不到好的烘干效果。

主权项:1.一种半导体元件用烘干机,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1两侧的内腔分别转动连接有丝杆柱一2和丝杆柱二3,所述箱体1的一侧设有电机4,所述电机4的输出端与丝杆柱一2的一端固定连接,所述丝杆柱一2和丝杆柱二3的一端均固定连接有传动轮,两组传动轮的表面通过皮带转动连接;所述丝杆柱一2贯穿箱体1一内侧的滑槽处并卡设有移动长板6,且移动长板6的两端分别与丝杆柱一2和丝杆柱二3的表面转动连接;所述移动长板6的两侧均固定连接有多个夹持组件7,且移动长板6两侧的夹持组件7对称设置,所述夹持组件7用于夹持硅片半导体。

全文数据:

权利要求:

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