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申请/专利权人：西安西炉特种电炉有限公司
摘要：本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉的辅助进气装置；包括混合箱、多根导气管、进气管、分气罩、安装环、分散件和混合模块，混合箱具有分气腔和搅拌腔，且分气腔与搅拌腔相连通，每根导气管分别与分气腔相连通，进气管与搅拌腔相连通，安装环与混合箱固定连接，分散件与安装环固定连接，分散件具有混合腔、多根第一通道和多根第二通道，且每根第一通道和每根第二通道分别与混合腔相连通，分气罩与混合箱固定连接，并位于导气管和分散件之间，混合模块与混合箱固定连接，并位于搅拌腔内，通过上述结构，获得将多种气体分散后再进行混合，缩短混合时间，提高进气效率的效果。
主权项：1.一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，其特征在于，包括混合箱、多根导气管、进气管、分气罩、安装环、分散件和混合模块，所述混合箱具有分气腔和搅拌腔，且所述分气腔与所述搅拌腔相连通，每根所述导气管分别与所述分气腔相连通，所述进气管与所述搅拌腔相连通，所述安装环与所述混合箱固定连接，并位于所述分气腔内，所述分散件与所述安装环固定连接，并位于所述安装环的内侧壁，所述分散件具有混合腔、多根第一通道和多根第二通道，且每根所述第一通道和每根所述第二通道分别与所述混合腔相连通，所述分气罩与所述混合箱固定连接，并位于所述导气管和所述分散件之间，所述混合模块与所述混合箱固定连接，并位于所述搅拌腔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安西炉特种电炉有限公司 一种化学气相沉积炉的辅助进气装置
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