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一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法 

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申请/专利权人:慧三维智能科技(苏州)有限公司

摘要:本发明涉及光学检测领域,公开了一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置及检测方法,装置包括具有中空结构的检测基台及一一对应的图像采集装置和光源,中空结构用于露出多层膜光学元件;相对应的图像采集装置与光源分别设置在检测基台所在平面的两侧;光源照射到多层膜光学元件上的区域涵盖相对应的图像采集装置对多层膜光学元件的成像区,图像采集装置被配置为在相对应的光源被点亮的前提下被触发而捕获图像;多层膜光学元件上位于所述中空结构处的部分划分为一个或多个区域,每个区域被图像采集装置捕获多个图像,且同一区域被捕获的多个图像的对应成像角度均不同。利用普通的成像传感器多方位成像,即可对膜内部细微裂痕进行精确识别。

主权项:1.一种针对多层膜光学元件内部裂痕的检测装置,其特征在于,包括至少一个图像采集装置、至少一个光源和一个具有中空结构的检测基台,其中,所述检测基台的中空结构与待检测的多层膜光学元件相匹配,所述光源的波长介于所述多层膜光学元件的通道波长范围;所述图像采集装置与光源一一对应,相对应的图像采集装置与光源分别设置在所述检测基台所在平面的两侧,且所述图像采集装置的成像光轴与相对应的光源的光束光轴各自在所述检测基台所在平面的投影轴线之间的夹角介于0°至45°之间;所述光源照射到所述多层膜光学元件上的区域涵盖相对应的图像采集装置对所述多层膜光学元件的成像区,所述图像采集装置被配置为在相对应的光源被点亮的前提下被触发而捕获图像;所述至少一个图像采集装置被配置为满足以下条件:所述多层膜光学元件上位于所述中空结构处的部分划分为一个或多个目标成像区,每个目标成像区被所述图像采集装置捕获多个图像,且同一目标成像区被捕获的多个图像的对应成像角度不同。

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