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申请/专利权人：重庆中科摇橹船信息科技有限公司
摘要：本发明提供一种用于显影液异常滴落状态的检测方法、系统和设备，其中，方法包括：获取散射光信号，根据散射光信号进行第一特征信息建模，得到测试光强信息；获取对照散射光信号，根据对照散射光信号进行第二特征信息建模，得到对照光强信息；根据测试光强信息和对照光强信息，得到显影液滴落状态。本发明利用激光器发射线激光，经过反射镜进行光束方向变换，投射到光刻胶显影液滴落的阵列水柱上，通过相机收集液滴的散射光信号，获得阵列光刻胶显影液的信息，从而判断液柱是否滴落，滴液孔是否存在堵住问题。能够满足光刻胶显影液滴落状态检测成像，用于光刻胶显影液液柱滴落状态的主动式检测。为该类型的成像检测填补了空白。
主权项：1.一种用于显影液异常滴落状态的检测方法，其特征在于，包括：获取散射光信号，根据所述散射光信号进行第一特征信息建模，得到测试光强信息；获取对照散射光信号，根据所述对照散射光信号进行第二特征信息建模，得到对照光强信息；根据所述测试光强信息和所述对照光强信息，得到显影液滴落状态。
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权利要求：
百度查询： 重庆中科摇橹船信息科技有限公司 一种用于显影液异常滴落状态的检测方法、系统和设备
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