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基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法 

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申请/专利权人:江淮前沿技术协同创新中心;复旦大学

摘要:本发明提供了一种基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法,属于精密测量技术领域,用大光瞳显微物镜接收经高陡度被测物体散射的光信号,利用高精度导轨与成像系统实现被测表面的定位,根据被测表面模型及位姿确定自适应权重因子。最后通过图像低秩优化算法解决弱散射图像的退化问题,进一步结合对焦判据计算各点所对应的对焦曲线,通过寻找最佳对焦位置完成被测表面三维形貌的测量。本发明采用上述的一种基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法,可以解决传统聚焦测量法难以对大陡度被测物体进行测量的问题。

主权项:1.一种基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、搭建三维变焦测量系统,利用分光镜将照明系统与成像系统合成为同轴系统,通过显微物镜接收经高陡度被测面散射的光信号,获得弱散射退化图像;S2、根据待测表面名义模型设置对焦判据中的自适应权重因子;S3、通过图像低秩优化算法,提升弱散射退化图像的质量,得到去噪后的序列图像;S4、根据去噪后的序列图像及自适应权重因子计算每个测量点的对焦判据;S5、在每个测量点拍摄的成像图片,选取对焦判据大于设定阈值的待选点;S6、对每个靠近待测表面名义表面的待选点,沿名义表面法线方向上根据对焦判据函数值的变化拟合为高斯曲线,确定高斯曲线顶点对应的测量点位置;S7、融合序列对焦图像得到不同高度处的测量表面的横截面轮廓,得到最终的三维数据。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江淮前沿技术协同创新中心 复旦大学 基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法

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