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申请/专利权人：芯朋半导体科技(如东)有限公司
摘要：本发明涉及松香回收技术领域，具体涉及一种松香废气回收二次处理系统，包括收集罐体、高压电源发生器、高压漩涡气泵、壁面清洁机构和两个滤网过滤器，该松香废气回收二次处理系统，通过高压电源发生器的作用，使得废气中的松香能够快速被吸附在负极套管的内壁上，即替代了传统的冷凝回收的方式，能够提高松香的处理效果。而通过壁面清洁机构，采用加热和刮料的方式，使得正极柱和负极套管上的树脂能够被清洁。并且在清洁后，壁面清洁机构、正极柱和负极套管形成气流通道，通过加热电阻丝对空气进行加热，再通过高压漩涡气泵进行抽气，进而对壁面上的松香薄膜能够实现清洁，同时热气能够对高压漩涡气泵上的叶轮也进行热清洁。
主权项：1.一种松香废气回收二次处理系统，其特征在于，包括收集罐体（1）、高压电源发生器（2）、高压漩涡气泵（4）、壁面清洁机构（7）和两个滤网过滤器（3），收集罐体（1）上设置有进气口（1a）和出气口（1b），高压电源发生器（2）固定安装于收集罐体（1）内，且高压电源发生器（2）位于进气口（1a）与出气口（1b）之间，出气口（1b）位于收集罐体（1）的中部，壁面清洁机构（7）固定安装于收集罐体（1）内且位于出气口（1b）的上方，高压漩涡气泵（4）的抽气口通过抽气管道（5）与收集罐体（1）的出气口连接，高压漩涡气泵（4）通过分气管道（6）与两个滤网过滤器（3）的进气口连接，滤网过滤器（3）用于对废气中的松香进行二次过滤；高压电源发生器（2）包括正极柱（2a）和负极套管（2b），正极柱（2a）位于负极套管（2b）的中心处，负极套管（2b）固定安装于收集罐体（1）的内壁上，且负极套管（2b）与收集罐体（1）的内壁之间设置有绝缘层，正极柱（2a）的顶部穿出收集罐体（1）的顶部与导线连接，负极套管（2b）的外缘与导线连接，壁面清洁机构（7）用于对正极柱（2a）的外壁和负极套管（2b）的内壁进行清洁。
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权利要求：
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