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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种抑制因混合液中的气泡引起的不良产生的技术。基板处理方法包括保持工序S1、混合液供给工序S5、以及置换工序S8。在保持工序S1中，保持基板。在混合液供给工序S5中，将含有水的处理液以及异丙醇分别经由第一供给管以及第二供给管向混合管供给，将混合了处理液以及异丙醇的混合液经由混合管从喷嘴向基板喷出。在置换工序S8中，在混合液供给工序S5之后，供给作为处理液以及异丙醇中任一方的置换液，利用置换液将混合管中的混合液推出且使其从喷嘴喷出，来将混合液置换为置换液。
主权项：1.一种基板处理方法，其中，包括：保持工序，保持基板；混合液供给工序，将含有水的处理液以及异丙醇分别经由第一供给管以及第二供给管向混合管供给，将混合了所述处理液以及所述异丙醇的混合液经由所述混合管从喷嘴向所述基板喷出；以及置换工序，在所述混合液供给工序之后，供给作为所述处理液以及所述异丙醇中的任一方的置换液，利用所述置换液将所述混合管中的所述混合液推出并使所述混合液从所述喷嘴喷出，将所述混合液置换为所述置换液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法以及基板处理装置
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