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一种用于傅里叶变换成像型红外光谱仪中透射式光学系统的光校方法 

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申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所

摘要:本发明公开了一种用于傅里叶变换成像型红外光谱仪中透射式光学系统的光校方法,该方法利用反射辅助装调元件,解决了装调透射式红外光学系统对测试仪器的波长约束问题。同时利用干涉测试方法,并与价格低廉、加工精度易控制的反射元件进行配合光校,可实现倾斜、偏心、元件间隔多参数的同时测试与装配,提高了光校效率及光校精度。

主权项:1.一种用于傅里叶变换成像型红外光谱仪中透射式光学系统的光校方法,所述光校系统包括:干涉仪1,自准直仪2,双面反射镜3,二维角度调节机构4,第一辅助反射镜5,第一透镜镜架6,高精度可读数五维调节机构7,转接板8,第二辅助反射镜9,第二透镜镜架10,其特征在于,所述方法包括以下步骤:步骤一:将双面反射镜3安装在二维角度调节机构4,并置于干涉仪1与自准直仪2之间,干涉仪1使用平面镜头,出射平行光,调节二维角度调节机构4使双面反射镜3反射面法线与干涉仪1光轴平行,调节自准直仪2,使自准直仪2光轴与双面反射镜3反射面法线平行,移除双面反射镜3与二维角度调节机构4,通过双面反射镜3的辅助完成将干涉仪1的光轴与自准直仪2的光轴调平行;步骤二:将第一辅助反射镜5安装于光学系统第一透镜镜架6中,将第二辅助反射镜9安装于光学系统第二透镜镜架10中;步骤三:将步骤二中的结构通过转接板8安装在高精度可读数五维调节机构7上并置于干涉仪1与自准直仪2光路中,通过高精度可读数五维调节机构7,调整第一透镜镜架6俯仰及方位角,使得第一辅助反射镜5的平面反射面的法线与自准直仪2光轴平行,干涉仪1镜头换成球面镜头发出球面波,经过第一辅助反射镜5凹面反射返回到干涉仪1中,通过高精度可读数五维调节机构7调整第一透镜镜架6的位置及角度,使干涉仪1发出的球面波经第一辅助反射镜5的凹面反射原路返回到干涉仪1中,并且第一辅助反射镜5平面反射面与自准直仪2自准直,第一辅助反射镜5凹球面反射面的球心与干涉仪1发出的球面波的会聚点重合,第一辅助反射镜5的平面反射面的法线与干涉仪1与自准直仪2的光轴平行,第一辅助反射镜5的光轴为经过干涉仪1的会聚点且方向为自准直仪光轴方向,即第一透镜镜架6的轴,固定好第一透镜镜架6,拆除第一辅助反射镜5,重复步骤三安装好系统中其他透镜镜架。

全文数据:

权利要求:

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