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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明涉及一种表面对空气敏感器件的在片测试装置及方法，属于半导体器件测试技术领域；发明的装置包括一个由两面金属和两面海绵围成的墙体结构和上方可取下的遮盖物，对于表面对空气敏感器件的测试方法将利用到所述的装置，在测试时形成一个充有特殊气体的封闭腔体，从而形成器件所需的表面被特殊气体包围的测试环境。本发明能够利用普通探针台和所述装置便捷地测试对空气表面敏感器件的特性，而不是采用高成本的定制探针台进行相关器件的测试；同时所述方法在能够有效减少特殊气体的使用量的同时，还能够兼顾测试器件的准确性和效率。
主权项：1.一种表面对气体敏感器件在片测试的装置，其特征在于，包括装置主体1、左侧片状海绵2、右侧片状海绵3、进气软管4、出气软管5和装置遮盖物7；所述装置主体1是一个方形的金属墙体结构；该结构由两片前后平行相对的片状金属和两片左右平行相对缺口朝上的凹字形片状金属围成；前后的片状金属都为矩形，片状金属上设有凸台，凸台与片状金属的左右两侧留有缝隙；前后矩形片状金属与左右平行相对的凹字形片状金属之间构成了沟槽；所述的装置主体1中前后相对的两片片状金属正中央设有圆形通孔；所述的左侧片状海绵2、右侧片状海绵3各有两片，并且大小形状都相同，左侧片状海绵2、右侧片状海绵3的厚度恰好从沟槽置入，完全覆盖左右两片凹字形金属的缺口；装置的遮盖物由一工字形金属片构成；金属片的大小与形状恰好满足放在装置主体1上时，能够完全遮盖装置主体1结构正上方的空缺；装置主体1中前后平行相对的两片金属中央的圆形通孔分别与进气软管和出气软管相接，在测试时特殊气体从进气软管进入装置，从出气软管排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种表面对空气敏感器件的在片测试装置及其方法
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