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申请/专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司
摘要：本发明提供了一种柱面绝对面形测量方法，利用矩形函数多项式翻转前后和旋转前后的多项式系数关系，得到柱面绝对测量的表达式。进一步根据矩形函数多项式的奇偶特性，分别求出参考面和被测面对应的多项式系数，通过矩形函数多项式拟合得到绝对面形，并且本发明提供的柱面绝对面形测量方法只需要共焦线位置和猫线位置的两组相对测量就可实现柱面绝对测量，得到的绝对面形不包含其他光学元件的面形误差，实现了真正的绝对测量而不是伪绝对测量。
主权项：1.一种柱面绝对面形测量方法，其特征在于，实现对柱面绝对面形的高精度检测，包括以下步骤：S10，沿干涉仪输出光束方向依次设置参考柱面和被测柱面，定义光束的光轴方向为z轴，参考柱面和被测柱面的焦线方向为x轴，y轴垂直于x轴和z轴；S20，将所述被测柱面先后置于和所述参考柱面共焦线的位置以及所述参考柱面的猫线位置进行测量；S30，建立柱面绝对测量的表达式： 其中，M1是被测柱面在和参考柱面共焦线位置与参考柱面的干涉测量结果，M3是被测柱面在猫线位置的干涉测量结果，S-x,y,z为参考柱面波前，Tx,y,z为被测柱面波前；S40，因为关于x轴翻转前后的矩形函数多项式系数是相关的，所以，利用矩形函数多项式将柱面绝对测量的表达式改写为： 其中，ai和bi分别是参考柱面和被测柱面第i项矩形函数多项式系数，fai是参考柱面关于x轴对称翻转后的矩形函数多项式系数，di和fi分别表示两次干涉波面的第i项矩形函数多项式系数，可由矩形函数多项式拟合得到，Cix,y为第i项矩形函数多项式；S50，利用矩形函数多项式中x或者y的奇偶特性，求得参考柱面和被测柱面的矩形函数多项式系数，然后用相应的矩形函数多项式系数拟合出参考柱面和被测柱面的绝对面形偏差。
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权利要求：
百度查询： 苏州慧利仪器有限责任公司 柱面绝对面形测量方法
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