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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本发明公开一种微转动载台及芯片巨量转移设备，涉及半导体制造的技术领域，用于应用于半导体加工设备，该微转动载台包括溜板以及载台本体，直线电机通过其定子固定安装于溜板，直线电机的动子与载台本体连接，直线电机可通过其动子驱动载台本体绕轴承的转动轴线往复转动。该微转动载台采用直线电机作为载台本体在溜板上转动的驱动机构，在轴承的约束下，直线电机作用于载台本体的直线驱动力能够被转化为驱动载台本体沿圆周方向转动的作用力，从而根据直线电机在一直线上沿两个相对方向的驱动，精确地控制载台本体在溜板上作小角度的转动调节，其调节过程稳定，可靠性高。
主权项：1.一种微转动载台，用于应用于半导体加工设备，其特征在于，包括：溜板10，开设有贯穿其相对两侧的第一避位孔11；载台本体20，通过轴承30可转动地安装于所述溜板10，所述载台本体20贯通设置有第二避位孔21，所述第二避位孔21与所述第一避位孔11对应连通；直线电机40，所述直线电机40的动子42可相对其定子41沿直线方向往复运动，通过所述定子41固定安装于所述溜板10，所述动子42与所述载台本体20连接，以使所述直线电机40可通过其动子42驱动所述载台本体20绕所述轴承30的转动轴线往复转动。
全文数据：
权利要求：
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