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申请/专利权人：郑州势垒科技有限公司
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2024-08-13
公开（公告）号：CN221522858U
专利技术分类：
专利摘要：本实用新型涉及金刚石加工技术领域，且公开了一种MPCVD装置，包括微波发生装置和位于微波发生装置下部的板体，所述板体的顶部安装有谐振腔体和石英罩，所述石英罩位于谐振腔体内并同轴设置，所述板体的中心处上下滑动安装有水冷台，所述水冷台的下部安装有升降机构，所述水冷台的内部安装有制冷机构，所述水冷台上安装有双层钼台；通过双层钼台的设置，金刚石在加工的过程中受热更加均匀，金刚石生长的一致性和均匀性更好；在水冷台内设置有制冷机构，水冷台内流体温度持续升高并达到温度传感器的设定值时，温度传感器接收到信息并将信息传递给控制器，通过控制器对半导体制冷片控制，使得半导体制冷片能够对水冷台内的流体进行降温处理。
专利权项：1.一种MPCVD装置，其特征在于：包括微波发生装置和位于微波发生装置下部的板体41，所述板体41的顶部安装有谐振腔体42和石英罩43，所述石英罩43位于谐振腔体42内并同轴设置，所述板体41的中心处上下滑动安装有水冷台44，所述水冷台44的下部安装有升降机构，所述水冷台44的内部安装有制冷机构，所述水冷台44上安装有双层钼台45；所述微波发生装置包括波导管11，所述波导管11的一端安装有微波发生器12，所述波导管11的另一端安装有密封板13，所述密封板13内螺纹安装有调节杆14，所述调节杆14位于波导管11内的一端转动安装有短路活塞15，所述波导管11上安装有模式转换器16，所述模式转换器16内安装有与同轴天线3，所述微波发生器12和模式转换器16之间设置有安装在波导管11上的三销钉调配器17；所述同轴天线3包括安装在模式转换器16上的主天线31，所述主天线31的底端依次穿过波导管11和管道2延伸到谐振腔体42内固定有锥形天线盘32，所述锥形天线盘32与石英罩43的顶部密封连接。
百度查询： 郑州势垒科技有限公司 一种MPCVD装置
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