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申请/专利权人：日产化学株式会社
摘要：本发明是在支持体与被加工物之间具有以能够剥离的方式粘接的中间层、用于通过切断等分离被加工物、或是用于进行晶片的背面研磨等加工的层叠体，该中间层至少含有与支持体侧接触的剥离层，剥离层含有能够吸收隔着支持体照射的190nm～600nm的光而改性的酚醛清漆树脂，本发明提供可以不进行机械加工就可以进行分离的材料和方法。本发明是支持体与晶片的电路面之间具有以能够剥离的方式粘接的中间层的用于晶片背面研磨的层叠体，该中间层含有与晶片一侧接触的粘接层和与支持体侧接触的剥离层，剥离层能够吸收隔着支持体照射的190nm～600nm的光而改性的酚醛清漆树脂。剥离层的透光率在190nm～600nm的范围为1～90％。光吸收改性是酚醛清漆树脂的光分解。
主权项：1.一种层叠体，是在支持体与被加工物之间具有以能够剥离的方式粘接的中间层、用于对被加工物进行加工的层叠体，该中间层至少含有与支持体侧接触的剥离层，所述剥离层含有具有下述C1-1结构单元、C1-2结构单元、C1-3结构单元、或这些结构单元的组合的聚合物C， 上述式中，C1是由含氮原子的芳香族化合物衍生的基团，C2是形成仲碳原子、季碳原子、或侧链具有芳香族环的叔碳原子的基团，C3是由脂肪族多环化合物衍生的基团，C4是由苯酚、双酚、萘酚、联苯酚、或它们的组合衍生的基团，并且所述剥离层含有能够吸收隔着支持体照射来的波长190nm～600nm的光而改性的酚醛清漆树脂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日产化学株式会社 含有酚醛清漆树脂作为剥离层的层叠体
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