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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明公开了一种基于精确定位的原子探针针尖样品制备方法，包括：获取鳍式场效应晶体管芯片制备尺寸，所述鳍式场效应晶体管芯片制备尺寸包括晶体管芯片材质、晶体管芯片管径、晶体管芯片高度。本发明采用智能化的鳍式场效应晶体管芯片头的设计方法，能够根据输入的要制备的晶体管芯片头的结构自动生成模型结构，避免了大量重复的调试设计带来的巨大工作量以及修改上的繁琐，因此极大地提高了晶体管芯片头结构设计的工作效率，并且极大地降低了对设计人员的工作经验以及技能水平的严重依赖，同时在对晶体管芯片头结构进行修改调整时，只需要对特定条件特征进行对应修改，即可重新计算生成模型进行仿真成型模拟，十分地便利。
主权项：1.一种基于精确定位的原子探针针尖样品制备方法，其特征在于，包括：获取鳍式场效应晶体管芯片制备尺寸，所述鳍式场效应晶体管芯片制备尺寸包括晶体管芯片材质、晶体管芯片管径、晶体管芯片高度、晶体管芯片外径和晶体管芯片壁厚；根据晶体管芯片高度、晶体管芯片管径和晶体管芯片壁厚进行左成型模和右成型模的外形尺寸计算，获得左成型模和右成型模的设计数据；根据左成型模和右成型模的设计数据以及晶体管芯片壁厚进行晶体管芯片头的外形尺寸计算，获得晶体管芯片头的设计数据；根据晶体管芯片材质以及管径进行内固定弧板外形尺寸计算，获得内固定弧板设计数据；根据晶体管芯片材质获取晶体管芯片的热态塑性数据；根据管材的热态塑性数据、内固定弧板设计数据、左成型模和右成型模的设计数据和晶体管芯片头的设计数据进行鳍式场效应晶体管芯片制备的仿真成型模拟；根据仿真成型模拟结果调整左成型模和右成型模的外形尺寸，并更新左成型模和右成型模的设计数据，获取最终的左成型模和右成型模的设计数据；根据仿真成型模拟结果以及最终的左成型模和右成型模的设计数据获取左成型模和右成型模之间的合模间隙数据；根据合模间隙数据进行左成型模和右成型模的合模定位治具的外形尺寸计算，获得合模定位治具的设计数据；输出内固定弧板设计数据、最终的左成型模和右成型模的设计数据和合模定位治具的设计数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种基于精确定位的原子探针针尖样品制备方法
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