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申请/专利权人：江苏中德电子材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种CF返工液，其组分及其重量百分数为：5‑15％的无机强碱、1‑2％的聚醚类非离子表面活性剂、10‑20％的水溶性有机溶剂、2‑5％的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、0.1‑1％的水溶性离子溶液，余量为高纯水。本发明通过在CF返工液中添加了羧酸酯水解酶EC3.1.1.1和水溶性离子溶液，克服了CF返工液在较低温度下的剥离效果不佳的缺点，可以降低客户端使用温度，减少了药液的挥发，保证了药效，对基板损伤小。
主权项：1.一种CF返工液，其特征在于：其组分及其重量百分数为：5-15%的无机强碱、1-2%的聚醚类非离子表面活性剂、10-20%的水溶性有机溶剂、2-5%的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、0.1-1%的水溶性离子溶液，余量为高纯水；所述水溶性离子溶液为［Hbim］[BF4]。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏中德电子材料科技有限公司 一种CF返工液
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