龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：重庆中科渝芯电子有限公司
摘要：本发明提供一种聚酰亚胺光刻胶返工方法，包括以下步骤：S1:检查聚酰亚胺光刻胶涂层是否存在涂布缺陷，筛选出不符合要求的晶圆；S2：将所述不符合要求的晶圆进行干法去胶，去除不合格的聚酰亚胺光刻胶涂层；S3：对去除不合格的聚酰亚胺光刻胶涂层后的晶圆再次涂布聚酰亚胺光刻胶涂层。本申请采用干法去胶，具有在保证去胶速率的同时，降低SIN的损失量的有益效果。
主权项：1.一种聚酰亚胺光刻胶返工方法，在晶圆钝化层制作完成后再进行聚酰亚胺光刻胶涂布，其特征在于，包括：S1:检查聚酰亚胺光刻胶涂层是否存在涂布缺陷，筛选出不符合要求的晶圆；S2：将所述不符合要求的晶圆进行干法去胶，去除不合格的聚酰亚胺光刻胶涂层；S3：对去除不合格的聚酰亚胺光刻胶涂层后的晶圆再次涂布聚酰亚胺光刻胶涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆中科渝芯电子有限公司 一种聚酰亚胺光刻胶返工方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号